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混气配气系统
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多路气体配置、配气、混气流量的控制柜/箱: -- 主要用于多种气体混合配气; -- 可配置多条气路,每条气路可配置质量流量控制器; -- 带有可触摸控制显示屏,控制每个气路的流量。
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